发布时间:2022-06-28 10:22:25
书本:《炬丰科技-半导体工艺》
文章内容:RCA清理中晶片表面的颗粒黏附和除去
序号:JFKJ-21-15美国黑金刚16粒装24
前言
溶液中颗粒和晶片表面中间产生的主要美国黑金服用说明书相互影响是分子间作用力(分子结构相互影响)和磁场力(双电层的相互影响)。近些年,与合美国黑金刚10粒装价格乎以上二种功效的溶液中的晶片表面上的颗粒黏附体制有关的科学研究迅猛发展,并且为表明颗粒黏美国黑金官网附体制进行了很多工作中。
大部分化学物质在与溶液触碰时,会得到表面正电荷,胶美国黑金刚16粒装哪里买体化学中就是这么说的。据觉得,这类正电荷由固态表面水解、离子吸咐到固态表面和离子融解造成的。溶液中的通电固态表面危害页面周边地区的离子遍布;与通电固态表面标记反过来的离子被拉向页面,而标记同样的离子迫不得已离去页面。那样,在溶液中的带 电页面产生双电层,并接着危害与晶片表面有关的颗粒吸咐和除去。
下面,将简要说明ζ电势差。如果一个固态渗入溶液里时,在固-液页面上存有双电层。图10.1显示了一个固态—液态页面的结构模型,这是根据斯特恩的基础理论,适用带正电的表面。
在这一双电层中,在几乎是固态的一部分,有一个消化吸收反过来离子的斯特恩层。除此之外,扩散层存在于其外界。木船层两侧存有一个滑移面。这一滑移面的电动势称之为ζ电势差。滑移面坐落于液态中的某点,而不是恰好在固-高效液相界限。ζ电势差用以表述颗粒对晶片表面的吸附和除去。
图10.2显示了溶液中颗粒和晶片表面的平面图。比如,因为消化吸收H”离子,推断2个表面都带正电。在通电表面周边,负离子受静电作用和不规律扩散现象的危害,产生双电层。在这样的情况下
茎实体模型
图10.1。双电层实体模型(根据斯特恩基础理论)
图10.2。颗粒平面图
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